- باب واحد / ببابين
الإطار والحجرة مصنوعان من الفولاذ المقاوم للصدأ الكربوني.
يوفر كل باب نافذة فحص للتحكم البصري للعملية.توفر جدران الباب بطانة من الفولاذ المقاوم للصدأ يمكن إزالتها بسهولة للصيانة.
-تخصيص غرفة فراغ
توفر الحجرة إزالة بطانات داخلية من الفولاذ المقاوم للصدأ بسهولة للتنظيف.
تقف المضخات في الجزء الخلفي منها.
تحتوي الحجرة على سلسلة من الفلنجات الصغيرة لغرض القياس.
- نظام ضخ عالي الفراغ
مضخة انتشار + مضخة معززة + مضخة ميكانيكية
- قياس الفراغ والتحكم فيه
مع مقياس بيراني المعدني + مقياس التأين المعدني
- نظام تحريك التركيبات
-وحدة تحكم PLC
- نظام تبخير من الألمنيوم مع محول طاقة عالي
-إطار الحديد
الهيكل معقول
طبقة الفيلم موحدة
جودة تشكيل الفيلم
سرعة ضخ عالية ودورة عمل قصيرة وكفاءة إنتاج عالية
العملية مريحة
استهلاك منخفض للطاقة وأداء مستقر
رقم الموديل | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | يتوفر نموذج بابين أو غرفتين | |
أبعاد غرفة التفريغ (القطر * الارتفاع) | 1000 * 1100 | 1200 * 1400 | 1400 * 1600 | 1800 * 2000 | 2000 * 2200 | ||
مادة غرفة التفريغ | الكربون الصلب ، SUS304 أو SUS316L | ||||||
تكنولوجيا العمل | تبخر مقاومة الفراغ مع خيوط التنجستن والألمنيوم ، محول تبخر عالي الطاقة | ||||||
نظام الضخ | مضخة انتشار + مضخات ميكانيكية ، مضخة معززة | ||||||
وقت الضخ | من الغلاف الجوي إلى 5.0 * 10-2Pa أقل من 8 دقائق | ||||||
حد الفراغ | 5.0 * 10-4 باسكال | ||||||
درجة حرارة العمل | درجة حرارة الغرفة | ||||||
نمط العمل | الوضع التلقائي أو اليدوي ، بواسطة شاشة تعمل باللمس 10.4 بوصة PLC | ||||||
إجمالي الطاقة | 40-80 كيلو واط | 70-140 كيلو واط | |||||
اثار | 2 * 2 متر | 2 * 3 أمتار | 3 * 3 أمتار | 3 * 3 أمتار | 3 * 4 أمتار | 4 * 5 أمتار | 5 * 6 أمتار |
يمكنك صنع هذه الوحدات حسب الطلب | 1. حجم غرفة التفريغ 2. تكوينات المضخات | ||||||
أدوات اختيارية | 1. كاشف التسرب 3. نظام ترسيب أيون القوس 4. نظام الاخرق Magntron |